維修與保養指南

一、設備特性與維護基礎

CKD 喜開理小型流量傳感器以 RAPIFLOW® 系列為核心，其中 FSM3 系列作為主流型號，采用熱式測量原理，通過檢測氣體流動時的熱傳導變化計算流量。該系列專為壓縮空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳等多種氣體設計，具有體積小巧（部分型號僅 4g 重，厚度 8mm）、響應速度快（50ms）的特點，廣泛應用于半導體制造、電池生產等精密工業場景。

從結構材質看，該系列分為不銹鋼本體和樹脂本體兩種類型：不銹鋼型號適用于較惡劣環境，流量范圍可擴展至 1000L，可選 ATEX 防爆規格；樹脂型號則更注重輕量化設計，提供多種接頭選擇，部分氧氣專用型號嚴格執行禁油設計。兩種材質均達到 IP65 防護等級，可在粉塵環境或短暫噴水情況下安全使用，但維護方式需根據材質特性調整。

設備的核心敏感元件為傳感器芯片，其測量精度極易受污染影響。與橫河渦街流量計的管道式安裝不同，CKD 小型傳感器多采用集成式設計，傳感器頭與流路塊的緊湊結構使得清潔維護需更加精細，避免損壞精密元件。

二、日本頒礙頓喜開理小型流量傳感器日常維護要點

（一）定期檢查規范

環境適應性檢查

每 3 個月進行一次全面檢查，重點關注：

安裝環境是否存在超出 IP65 防護范圍的積水或嚴重粉塵堆積

不銹鋼本體型號的表面腐蝕情況，特別是在潮濕環境中的使用狀態

樹脂本體型號的接頭密封處是否有開裂或老化跡象

清潔維護流程

根據環境粉塵等級制定清潔周期：

一般環境：每 6 個月用干燥壓縮空氣（0.3MPa 以下）吹掃傳感器表面

粉塵環境：每月清潔一次，采用蘸有異丙醇的無塵布輕輕擦拭本體，避免液體滲入接線口

防爆場合（ATEX compliant 型號）：使用專用防靜電清潔工具，禁止使用可能產生靜電的化纖布料

連接系統檢查

重點檢查：

接頭連接狀態：JXr 接頭或快插接頭是否松動，建議每季度重新緊固一次

電纜保護：傳感器線纜是否有擠壓或破損，特別是在彎曲部位

IO-Link 通信接口（FSM3-C 系列）：連接是否穩定，通信指示燈閃爍是否正常

（二）運行狀態監控

啟動前檢查

確認電源電壓符合額定值（通常為 DC12-24V），波動范圍不超過 ±10%

氣體類型設置與實際介質匹配（通過模式鍵檢查參數）

對于分體式顯示型號（如 FSM2-D），確認傳感器頭與顯示器連接正常

運行中監測

觀察顯示值是否穩定，正常工況下波動應在 ±2% FS 范圍內

利用 IO-Link 功能的設備可通過軟件監測參數趨勢，重點關注零點漂移情況

注意設備是否進入 eco 模式（1 分鐘無操作后背光關閉），這屬于正常節能狀態而非故障

特殊環境維護

潔凈室專用型號（帶 P70/P80 標識）：每月需在 Class 1000 級別環境下進行外觀檢查，避免污染物進入

電池生產專用型號：每兩周檢查一次傳感器表面是否有電解液殘留，發現后立即用去離子水清潔并干燥

叁、故障診斷與處理

（一）常見故障排查

無流量顯示

首先檢查電源連接，確認正負極無接反（常見于更換傳感器后）

按壓模式鍵或 ± 鍵確認是否因 eco 模式導致背光關閉

排查電磁干擾源，將傳感器線纜與動力電纜保持至少 30cm 距離

若上述措施無效，使用替換法測試傳感器本體是否損壞

輸出信號異常

模擬輸出異常：檢查 GND 線是否共地連接，確認設備與傳感器的信號地電位一致

開關輸出異常：核對 NPN/PNP 輸出規格是否與接收設備匹配，可通過 F.91 強制輸出功能驗證

通信故障（IO-Link 型號）：檢查電纜屏蔽層接地情況，重新插拔通信接口

測量精度偏差

零點偏移：在無流量狀態下執行零點校準（參考設備手冊的校準步驟）

顯示值不回零：檢查是否存在微量泄漏，或傳感器芯片表面污染

量程偏差：確認氣體類型設置正確，不同氣體的熱傳導特性差異會影響測量結果

（二）專項故障處理

傳感器芯片污染

表現為測量值漂移或響應延遲，處理方法：

對于可拆分型號，用專用工具拆卸傳感器頭，使用 0.1MPa 干燥氮氣反向吹掃

嚴重污染時，可用蘸有分析純酒精的超細棉簽輕輕擦拭芯片表面，自然晾干后重裝

禁止使用超聲波清洗或高壓水流直接沖洗

接頭泄漏問題

根據接頭類型采取對應措施：

快插接頭：檢查插接管是否過短（建議插入深度≥8mm），更換 O 型圈（備件代碼參考設備手冊）

螺紋接頭：使用合適扭矩重新緊固（不銹鋼接頭推薦 8-10N?m），禁止使用生料帶等密封材料

低溫環境故障

在低于 5℃環境中出現的顯示不穩定問題：

檢查保溫措施是否到位，避免傳感器本體結露

對樹脂本體型號，可適當提高環境溫度至 10℃以上再啟動

啟動前進行 10 分鐘預熱，避免突然通入高溫氣體

四、安全操作規范

電氣安全

維修前必須斷開電源，確認電容放電完成（至少等待 30 秒）

接線操作需使用帶絕緣柄的工具，避免短路

在防爆區域維修 ATEX 型號時，必須使用防爆認證工具，禁止在通電狀態下插拔接頭

機械安全

拆卸傳感器時需使用專用扳手固定本體，避免扭轉線纜根部

處理不銹鋼型號時注意邊緣毛刺，建議佩戴薄型防護手套

安裝時確保流向標識與實際一致（部分型號支持雙向測量但需重新校準）

介質安全

維修氧氣專用型號（禁油標識）時，工具必須經過脫脂處理

接觸腐蝕性氣體后，需用專用中和劑清潔手部再接觸設備

更換傳感器前務必關閉上下游閥門，確認管道內無殘留壓力

五、校準與備件管理

校準周期與方法

一般環境：建議每 12 個月校準一次

精密應用（如半導體工藝）：每 6 個月校準一次

校準方法：

現場校準：采用標準表比對法，使用已知流量的標準氣體源

實驗室校準：通過 CKD 授權服務中心進行高精度標定

零點校準：在設備停止供氣狀態下，通過模式鍵進入校準菜單執行零點調整

關鍵備件儲備

根據設備型號特性儲備：

通用備件：傳感器清潔套裝、標準 O 型圈（丁腈橡膠 / 氟橡膠）、接頭密封墊

專用備件：

不銹鋼型號：耐腐蝕過濾芯（P70/P80 系列）

樹脂型號：快插接頭卡爪、防塵帽

IO-Link 型號：專用通信電纜（帶屏蔽層）

長期維護計劃

每 2 年更換一次所有彈性密封元件，防止老化泄漏

每 3 年對不銹鋼本體進行一次耐壓測試（參考額定壓力的 1.5 倍）

定期更新 IO-Link 設備的固件，通過軟件獲取最新版本

六、維護記錄與文檔管理

建立設備維護檔案，內容應包括：

基礎信息：設備型號、序列號、安裝日期、介質類型

維護記錄：每次清潔、校準的日期和執行人，記錄環境參數

故障歷史：詳細記錄故障現象、處理方法及更換備件型號

校準數據：保存每次校準的原始數據，繪制漂移趨勢圖

對于采用 IO-Link 的智能型號，建議部署設備管理系統，實現：

實時狀態監控與異常報警

維護周期自動提醒

多設備數據對比分析